新型放大器设计提高了位置稳定性

一种新的驱动机架，XR3，最近发布与Aerotech行业领先的A3200基于软件的机器控制器。XR3包括完全重新设计的放大器:XSP3，一个脉宽调制(PWM)放大器，和XSL3，一个线性放大器。

图1所示。Aerotech XR3 3U, 19”驱动机架。

性能测试

两种放大器在Aerotech ABL1500空气轴承直接驱动线性级上进行了性能测试。利用积分编码器反馈信号测量了控制平台保持位置时的位置稳定性。对新一代和上一代PWM和线性放大器(总共4个设备)进行了测试。

ABL1500级包括1 Vpp放大正弦波编码器，编码器螺距为4 μm。舞台由Aerotech公司的BLMC系列无刷直线电机驱动。舞台被安装在花岗岩上，它坐落在一个被动空气隔离系统上，由一个钢焊件支撑。

图2。Aerotech的ABL1500空气轴承直接驱动线性级。

测试结果

XSP3和XSL3在放大器性能上远远超过了前几代的Aerotech驱动器。在测量位置噪声时，XSP3放大器优于上一代DP32010e放大器。XSP3测量1.5 nm的位置噪声，而DP32010e测量4.8 nm。有趣的是，上一代线性放大器DL4010在ABL1500测试中测量到2.8 nm的位置噪声。这使得Aerotech最新的PWM放大器比上一代线性放大器的性能优越近2倍。最后的测试是Aerotech的新XSL3线性放大器。这种新型放大器测量到0.7 nm的位置噪声，比DL4010的性能高出4倍。

表1。位置噪声测试结果。粗体线条表示Aerotech的新驱动技术。

图3。Aerotech的XR3驱动机架的新放大器- XSP3 PWM放大器和XSL3线性放大器。

除了改进的位置读取，与DL4010相比，XSL3还能够消耗6倍的峰值功率。