高速线性模块，直接驱动，高性能致动器

经济型高速、高精度、线性模块、线性执行器以及带免维护直接驱动电机的直线滑轨，适用于工业运动控制、装配和光学检测领域的原始设备制造商。应用程序-

无杆线性模块驱动器完全组装和测试，提供高分辨率0.1µm最小增量运动。高性能，无齿三相直线电机提供卓越的动态性能，高达5m/秒的高速和高达5g的高加速度和短的沉降时间。集成光学线性位置传感器可测量到1纳米的增量。

应用程序

电子零件组件：传感器、摄像头和光学组件。非接触光学检查、X射线检查和AOI（自动光学检查）。传感器和超声波测试。半导体制造：晶圆加工和检验。激光加工和机加工：精密激光焊接。精密自动化中的高度动态应用，需要平滑的扫描运动、最小的跟踪误差和较短的稳定时间。

长行程范围（至1200 mm）和窄轮廓（132 mm宽）
永久负载能力达到1000 N
高动态、免维护直线电机，速度高达5 m/s
耐用的工业设计，使用寿命长
高精度增量或绝对线性编码器
适用于龙门系统

活跃的轴	X	X	X	X
以X为单位的行程范围	400毫米	400毫米	800毫米	800毫米
以X为单位的加速度，空载	50米/秒²	50米/秒²	50米/秒²	50米/秒²	最大值。
最大速度X，卸载	5000毫米/秒	5000毫米/秒	5000毫米/秒	5000毫米/秒
直线度（Y方向的线性串扰和X方向的运动）	±12µm	±12µm	±20µm	±20µm	最大值。
平面性(Z方向的线性串扰，X方向的运动)	±10µm	±10µm	±10µm	±10µm	最大值。
俯仰（θY方向的旋转串扰和X方向的运动）	±100µrad	±100µrad	±150µrad	±150µrad	最大值。
偏航（θZ方向的旋转串扰和X方向的运动）	±150µrad