PI (Physik instrument) LP产品

转盘,直接驱动,低轮廓,空气轴承

模型: a-634, a-635, a-637, a-638

PI(物理仪器)LP

高性能空气轴承转台,低剖面,A-634, A-635, A-637, A-638由PI美国制造

转盘、直接驱动、薄型、空气轴承的图像

几个低姿态的空气轴承转盘已添加到PI的投资组合。最大的家庭成员现在是A-638转盘,最小的是A-634覆盖桌直径从150mm到350mm。这些气浮式薄型转台没有滚动或滑动元件,提供无摩擦、非接触运动,从而产生可忽略的反向误差、更好的摆动、偏心率和速度稳定性,是高端工业应用(如检查、计量、校准和扫描)的理想先决条件,包括洁净室环境。

应用程序包括:光学、自动化、计量、用于半导体测试和制造的精密运动控制。

速度快,精度高,几何精度好
A-634至A-638转盘系列提供了卓越的精度、平整度和摆动性能,具有50nm的平整度、±50nm的偏心率和1µmrad的摆动。

直接驱动三相扭矩马达,采用低齿槽无槽设计,转速可达500rpm。高分辨率绝对光学编码器,允许闭环运动控制的分辨率高达0.0015µrad。几何性能也很好,平面度为50nm,径向跳动±50nm,径向摆动1µ。

更多有关低轮廓,直接驱动空气轴承转台

不同的空气轴承表,线性表,转台,轴承和电动转台低轮廓空气轴承表也可。

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